نفوذ-Diffusion در فرایند ساخت

گزارش درس تئوری و تکنولوژی نیمه‌هادی‌ها

نفوذ-Diffusion در فرایند ساخت:

نفوذ در جامداتی نظیرسیلیکون از طریق ناکاملی ها انجام میشود. ناکاملی ها به چند دسته تقسیم میشوند، که مهمترین آنها عبارتند از: ناکاملی های نقطه ای، ناکاملی های خطی، سطحی و غیره که هر کدام از این ها نیز انواعی دارند.

ناکاملی های خطی مانند نابجایی ها، مرزدانه ها و غیره جزو نقایص ویفر محسوب می شوند.نفوذ از این مسیرها سریعتر اتفاق می افتد. به همین دلیل به انها مسیرهای با ضریب نفوذ بالا میگویند.

در یک ویفر سالم و ایده ال نباید چنین نواقصی داشته باشیم به همین دلیل مکانیزم اصلی نفوذ ناکاملی های نقطه ای میباشند .