لیتوگرافی کلاسیک-Classical Lithography

لیتوگرافی کلاسیک-Classical Lithography:

فتوليتوگرافي، روند انتقال الگوهايي از اشكال هندسي واقع بر يك نقاب به لايه نازكي از ماده اي حساس به تشعشع (Photo Sensitive) و مقاوم در برابر زدایش(Etch Resist) به نام PhotoResist است كه سطح پولك نيمه هادي را مي پوشاند. اين الگوها (Patterns) مناطق گوناگوني نظير مناطق كاشت، پنجره هاي اتصال و سطوح نواحي اتصال را در مدار مجتمع مشخص مي كنند. در واقع ليتوگرافي روش كپي تصوير يا تصاوير از جسم به جسم ديگر مي باشد. فوتوليتوگرافي يك فرآيند چند مرحله­اي انتقال الگو است، مشابه با عکس برداری و استنسيل كردن. الگو مورد نظر ابتدا روي ماسك­هاي نوري ايجاد مي شود و روي لايه­هاي سطح ويفر از طريق مراحل ماسك گذاري نوري منتقل مي شود. عمل انتقال در دو مرحله انجام مي شود. ابتدا الگوي ايجاد شده روي ماسك روي يك لايه از فوتورزيست منتقل مي شود.

لیتوگرافی کلاسیک