لیتوگرافی پیشرفته-Advanced Litography

لیتوگرافی پیشرفته-Advanced Litography:

در هر پروسه مهندسی، یک سری اثرات مرتبه دوم وجود دارند که در حالت عادی واضح نیستند. وقتی شروع به تغییر یک پارامتر آن پروسه نماییم، از یک حد به به بعد ، این اثرات مرتبه دوم ظاهر می‏شوند که تقریبا هیچ وقت به نفع مهندس نیستند. برای ساخت مدارات VLSI/ULSI احتیاج داریم تا پستی بلندی‏های کوچک را به تعداد زیاد کنار هم ایجاد کنیم. کوچکتر بودن مدارات به معنای تعداد بیشتر یک تراشه روی ویفر و صرفه اقتصادی بیشتر خواهد بود. اما اثرات مرتبه دوم مربوط به پارامتر ابعاد پستی و بلندی‏ها، آرام آرام در مقابل کوچک­ شدن سایز مقاومت می­کنند تا جایی که از حدود ۵ میکرومتر به پایین ایجاد این عوارض، بدون رعایت یک سری ملاحظات و به­کاربستن تکنیک­های خاص ممکن نخواهد بود.

لیتوگرافی پیشرفته