آماده سازی ویفر-Wafer preparation

آماده سازی ویفر-Wafer preparation

در تکنولوژی ساخت قطعات نیمه هادی یکی از مراحل فرآیند تولید ، ساخت و آماده سازی ویفر می باشد ، ویفرها از شمش تک کریستال نیمه هادی ساخته شده و با طی مراحلی برای پیاده سازی مدار طراحی شده، آماده می شوند . نتیجه این عملیات یک ویفر با سطح آیینه ای است که آماده انجام مراحل بعدی پروسه FAB اکسیداسیون و … می باشد.

در این بخش ابتدا کمی در مورد ضرورت کیفیت کریستال و ناکاملی های آن توضیح می دهیم ، سپس به سراغ مراحل آماده سازی و ساخت ویفر می رویم که به طور اختصار عبارتند از :

درو کردن، تراش کاری قطری تست های پایه، تراش سطح هموار

 برش، پرداخت ، زدایش، دسته بندی از لحاظ ضخامت و کنترل میزان همواری ویفر

تراش لبه ها ، تمیزکاری نهایی، بازرسی و بسته بندی.